Studie se zabývá zkoumáním optických vlastností povrchů s určitým rozdělením nerovností. V rámci Kirchhoffovy skalární teorie a vektorové teorie difrakce světla jsou odvozeny vzorce pro elipsometrické parametry lokálně hladkéhopovrchu a tenké vrstvy. Dále jsou popsány elipsometrické parametry systémů s nerovným povrchem a uvedeny vzorce pro koherentní a nekoherentní komponenty odraznosti. Získané teoretické výsledky byly ověřeny experimentálně.